Ngwa nkehafnium tetrachloride(HfCl₄) na semiconductor n'ichepụta bụ tumadi lekwasị na nkwadebe nke elu dielectric mgbe niile (elu-k) ihe na chemical vapor deposition (CVD) Filiks. Ndị a bụ ngwa ya akọwapụtara:
Nkwadebe nke elu dielectric mgbe nile ihe
N'azụ: Site na mmepe nke teknụzụ semiconductor, nha transistors na-aga n'ihu na-ebelata, na oyi akwa mkpuchi ọnụ ụzọ silicon dioxide (SiO₂) na-eji nwayọọ nwayọọ enweghị ike igbo mkpa nke ngwaọrụ semiconductor na-arụ ọrụ dị elu n'ihi nsogbu nkwụsị. Ihe dị elu dielectric mgbe niile nwere ike ịbawanye njupụta capacitance nke transistor, si otú a na-emeziwanye arụmọrụ nke ngwaọrụ.
Ngwa: Hafnium tetrachloride bụ ihe dị mkpa maka nkwadebe nke ihe dị elu (dị ka hafnium dioxide, HfO₂). N'oge usoro nkwadebe, a na-atụgharị hafnium tetrachloride ka ọ bụrụ ihe nkiri hafnium dioxide site na mmeghachi omume kemịkal. Ihe nkiri ndị a nwere ezigbo dielectric Njirimara na enwere ike iji ya dị ka ihe mkpuchi ọnụ ụzọ ámá nke transistor. Dịka ọmụmaatụ, na ntinye nke elu-k gate dielectric HfO₂ nke MOSFET (metal-oxide-semiconductor field-effect transistor), hafnium tetrachloride nwere ike iji dị ka ntinye gas nke hafnium.
Usoro Ntube Uzuoku Kemịkalụ (CVD).
N'azụ: Ntụkwasị mmiri kemịkalụ bụ teknụzụ ntinye ihe nkiri dị mkpa nke a na-ejikarị eme ihe na semiconductor, nke na-etolite otu ihe nkiri dị mkpa n'elu nke mkpụrụ site na mmeghachi omume kemịkal.
Ngwa: A na-eji Hafnium tetrachloride mee ihe dị ka ihe mmalite na usoro CVD iji tinye hafnium dara ma ọ bụ ihe nkiri ihe nkiri hafnium. Ihe nkiri ndị a nwere ihe dị iche iche eji eme ihe na ngwaọrụ semiconductor, dị ka ịmepụta transistor dị elu, ebe nchekwa, wdg. Dịka ọmụmaatụ, na ụfọdụ usoro mmepụta semiconductor dị elu, a na-etinye hafnium tetrachloride n'elu silicon wafers site na usoro CVD na-emepụta ihe nkiri hafnium dị elu, nke a na-eji emeziwanye arụmọrụ eletriki nke ngwaọrụ ahụ.
Mkpa Teknụzụ Ịdị Ọcha
N'azụ: Na mmepụta semiconductor, ịdị ọcha nke ihe ahụ nwere mmetụta dị oke mkpa na arụmọrụ nke ngwaọrụ ahụ. Hafnium tetrachloride dị elu dị ọcha nwere ike hụ na ịdị mma na arụmọrụ nke ihe nkiri ahụ edobere.
Ngwa: Iji mezuo ihe achọrọ maka nrụpụta mgbawa dị elu, ịdị ọcha nke hafnium tetrachloride na-adịkarị mkpa iru karịa 99.999%. Dịka ọmụmaatụ, Jiangsu Nanda Optoelectronic Materials Co., Ltd nwetara patent maka nkwadebe nke semiconductor-grade hafnium tetrachloride, nke na-eji usoro sublimation decompression dị elu iji mee ka hafnium tetrachloride dị ọcha dị ọcha iji hụ na ịdị ọcha nke hafnium tetrachloride anakọtara ruru 99.999%. Hafnium tetrachloride a dị ọcha nwere ike imezu ihe achọrọ nke teknụzụ usoro 14nm.
Ngwa nke hafnium tetrachloride na mmepụta semiconductor ọ bụghị naanị na-akwalite nkwalite arụmọrụ nke ngwaọrụ semiconductor, kamakwa na-enye ihe ndabere ihe dị mkpa maka mmepe nke teknụzụ semiconductor dị elu n'ọdịnihu. Site na ọganihu na-aga n'ihu nke nkà na ụzụ mmepụta semiconductor, ihe ndị a chọrọ maka ịdị ọcha na ịdị mma nke hafnium tetrachloride ga-adị elu ma dị elu, nke ga-eme ka mmepe nke nkà na ụzụ dị ọcha yiri ya.
| Aha ngwaahịa | Hafnium tetrachloride |
| CAS | 13499-05-3 |
| Usoro ngwakọta | HfCl4 |
| Ibu molekụla | 320.3 |
| Ọdịdị | Ọcha ntụ ntụ |
Kedu ka ịdị ọcha nke hafnium tetrachloride si emetụta ngwaọrụ semiconductor?
Hafnium tetrachloride dị ọcha (HfCl₄) nwere mmetụta dị oke mkpa na arụmọrụ na ntụkwasị obi nke ngwaọrụ semiconductor. Na nrụpụta semiconductor, hafnium tetrachloride dị ọcha dị elu bụ otu n'ime isi ihe iji hụ na arụmọrụ ngwaọrụ na ịdị mma. Ndị a bụ nsonaazụ hafnium tetrachloride dị ọcha na ngwaọrụ semiconductor:
1. Mmetụta na àgwà na arụmọrụ nke ihe nkiri dị mkpa
Ịdị n'otu na njupụta nke ihe nkiri dị gịrịgịrị: Hafnium tetrachloride dị ọcha nwere ike ịmepụta otu ihe nkiri na nnukwu ihe nkiri n'oge ntinye mmiri kemịkal (CVD). Ọ bụrụ na hafnium tetrachloride nwere ihe ndị na-adịghị ọcha, ihe ndị a na-adịghị ọcha nwere ike ịmepụta ntụpọ ma ọ bụ oghere n'oge usoro ntinye, na-ebute mbelata n'ịdị n'otu na njupụta nke ihe nkiri ahụ. Dịka ọmụmaatụ, adịghị ọcha nwere ike ime ka ọkpụrụkpụ ihe nkiri na-ekwekọghị ekwekọ, na-emetụta ọrụ eletrik nke ngwaọrụ ahụ.
Njirimara dielectric nke ihe nkiri dị gịrịgịrị: Mgbe ị na-akwadebe ihe dielectric dị elu mgbe niile (dịka hafnium dioxide, HfO₂), ịdị ọcha nke hafnium tetrachloride na-emetụta ihe dielectric nke ihe nkiri ahụ ozugbo. Hafnium tetrachloride dị ọcha nwere ike hụ na ihe nkiri hafnium dioxide na-edobere nwere nnukwu dielectric mgbe niile, obere ntapu dị ugbu a na ihe mkpuchi dị mma. Ọ bụrụ na hafnium tetrachloride nwere ihe ndị na-adịghị ígwè ma ọ bụ ihe ndị ọzọ na-adịghị ọcha, ọ nwere ike iwebata ọnyà ndị ọzọ na-akwụ ụgwọ, na-abawanye ntanye nke ugbu a, ma belata ihe ndị dị na fim ahụ.
2. Na-emetụta akụrụngwa eletriki nke ngwaọrụ ahụ
Ntupu ugbu a: Ka ịdị ọcha nke hafnium tetrachloride dị elu, ihe nkiri etinyere na-adị ọcha, yana obere ntapu nke ugbu a. Ogo nke ntapu ugbu a na-emetụta ike oriri na arụmọrụ nke ngwaọrụ semiconductor. Hafnium tetrachloride dị ọcha nwere ike ibelata ntapu nke ugbu a, si otú a na-emeziwanye ike na arụmọrụ nke ngwaọrụ ahụ.
Voltage nbibi: Ọnụnọ nke adịghị ọcha nwere ike ibelata voltaji nke ihe nkiri ahụ, na-eme ka ngwaọrụ ahụ dịkwuo mfe imebi n'okpuru nnukwu voltaji. Hafnium tetrachloride dị ọcha dị elu nwere ike ime ka voltaji ndakpọ nke ihe nkiri ahụ dịkwuo elu ma welie ntụkwasị obi nke ngwaọrụ ahụ.
3. Na-emetụta ntụkwasị obi na ndụ nke ngwaọrụ ahụ
Nkwụsi ike nke okpomọkụ: Hafnium tetrachloride dị elu nwere ike ịnọgide na-enwe nkwụsi ike dị mma na gburugburu ebe okpomọkụ dị elu, na-ezere ire ere ọkụ ma ọ bụ mgbanwe oge nke adịghị ọcha na-akpata. Nke a na-enyere aka melite nkwụsi ike na ndụ nke ngwaọrụ n'okpuru ọnọdụ ọrụ okpomọkụ dị elu.
Nkwụsi ike kemịkalụ: Ihe adịghị ọcha nwere ike iji ihe ndị gbara ya gburugburu meghachi omume na kemịkalụ, na-ebute mbelata nkwụsi ike kemịkalụ nke ngwaọrụ ahụ. Hafnium tetrachloride dị elu nwere ike ibelata mmeghachi omume kemịkalụ a, si otú a na-emezi ntụkwasị obi na ndụ nke ngwaọrụ ahụ.
4. Mmetụta na mmepụta nke ngwaọrụ
Belata ntụpọ: Hafnium tetrachloride dị ọcha dị elu nwere ike ibelata ntụpọ na usoro ntinye ego ma melite ogo ihe nkiri ahụ. Nke a na-enyere aka melite mmepụta nke ngwaọrụ semiconductor ma belata ọnụ ahịa mmepụta.
Meziwanye nkwekọ: Hafnium tetrachloride dị ọcha nwere ike hụ na ihe nkiri dị iche iche na-arụ ọrụ na-arụ ọrụ, nke dị oké mkpa maka mmepụta nnukwu ihe nke ngwaọrụ semiconductor.
5. Mmetụta na usoro dị elu
Zute ihe achọrọ nke usoro dị elu: Dika usoro nrụpụta semiconductor na-aga n'ihu na-eto eto maka obere usoro, ihe ndị dị ọcha chọrọ maka ihe na-abawanye na elu. Dịka ọmụmaatụ, ngwaọrụ semiconductor nwere usoro 14nm na n'okpuru na-achọkarị ịdị ọcha nke hafnium tetrachloride karịa 99.999%. Hafnium tetrachloride dị elu nwere ike izute ihe siri ike chọrọ nke usoro ndị a dị elu ma hụ na arụmọrụ nke ngwaọrụ na-arụ ọrụ dị elu, obere ike oriri na ntụkwasị obi dị elu.
Na-akwalite ọganihu nkà na ụzụ: Hafnium tetrachloride dị ọcha nwere ike ọ bụghị nanị izute mkpa dị ugbu a nke mmepụta semiconductor, kamakwa na-enye ihe ndabere ihe dị mkpa maka mmepe nke nkà na ụzụ semiconductor dị elu n'ọdịnihu.
Ịdị ọcha nke hafnium tetrachloride nwere mmetụta dị oke mkpa na arụmọrụ, ntụkwasị obi na ndụ nke ngwaọrụ semiconductor. Hafnium tetrachloride dị elu dị ọcha nwere ike hụ na ịdị mma na arụmọrụ nke ihe nkiri ahụ, belata ntapu nke ugbu a, na-abawanye voltaji mmebi, welie nkwụsi ike nke okpomọkụ na nkwụsi ike kemịkalụ, si otú a na-emeziwanye arụmọrụ na ntụkwasị obi nke ngwaọrụ semiconductor. Site na ọganihu na-aga n'ihu nke teknụzụ mmepụta semiconductor, ihe ndị a chọrọ maka ịdị ọcha nke hafnium tetrachloride ga-adị elu ma dị elu, nke ga-akwalite mmepe nke teknụzụ nchacha yiri ya.
Oge nzipu: Eprel-22-2025