Site na mmepe ngwa ngwa nke 5G, ọgụgụ isi mmadụ (AI) na ịntanetị nke ihe (IoT), ọchịchọ maka ihe ndị na-arụ ọrụ dị elu na ụlọ ọrụ semiconductor abawanyela nke ukwuu.Zirconium tetrachloride (ZrCl ₄), dị ka ihe dị mkpa semiconductor ihe, aghọwo ihe dị mkpa akụrụngwa maka elu usoro ibe (dị ka 3nm / 2nm) n'ihi ya isi ọrụ na nkwadebe nke elu-k ihe nkiri.
Zirconium tetrachloride na ihe nkiri dị elu
N'ichepụta semiconductor, ihe nkiri dị elu bụ otu n'ime ihe ndị bụ isi maka ịkwalite arụmọrụ mgbawa. Dị ka usoro nke na-aga n'ihu na-ebelata nke ihe eji eme ọnụ ụzọ ámá silik na omenala (dị ka SiO₂), ọkpụrụkpụ ha na-abịaru nso na njedebe anụ ahụ, na-ebute mmụba dị ukwuu na mmụba dị ukwuu na oriri ike. Ihe dị elu-k (dị ka zirconium oxide, hafnium oxide, wdg) nwere ike ime ka ọkpụkpụ anụ ahụ dịkwuo elu nke dielectric oyi akwa, belata mmetụta tunneling, ma si otú ahụ na-eme ka nkwụsi ike na ịrụ ọrụ nke ngwaọrụ eletrik.
Zirconium tetrachloride bụ ihe dị mkpa maka nkwadebe maka ihe nkiri dị elu. Enwere ike ịtụgharị zirconium tetrachloride ka ọ bụrụ ihe nkiri zirconium oxide dị elu dị ọcha site na usoro dị ka ntinye kemịkalụ kemịkalụ (CVD) ma ọ bụ ntinye akwa atomic (ALD). Ihe nkiri ndị a nwere ezigbo dielectric Njirimara ma nwee ike melite arụmọrụ na ike ike nke ibe. Dịka ọmụmaatụ, TSMC webatara ihe dị iche iche nke ihe ọhụrụ na nhazi usoro na usoro 2nm ya, gụnyere ntinye nke ihe nkiri dielectric dị elu na-adịgide adịgide, nke nwetara mmụba na njupụta transistor na mbelata ike oriri.
Ịgbanwe Chain Supply Global
Na Global semiconductor ọkọnọ yinye, ọkọnọ na mmepụta ụkpụrụ nkezirconium tetrachloridedị oké mkpa maka mmepe nke ụlọ ọrụ. Ka ọ dị ugbu a, mba na mpaghara dị ka China, United States na Japan nọ n'ọnọdụ dị mkpa na mmepụta nke zirconium tetrachloride na ihe ndị metụtara elu dielectric mgbe niile.
Ọganihu teknụzụ na atụmanya n'ọdịnihu
Ọganihu teknụzụ bụ isi ihe na-akwalite ntinye nke zirconium tetrachloride na ụlọ ọrụ semiconductor. N'ime afọ ndị na-adịbeghị anya, njikarịcha nke usoro ntinye ihe ntinye atomic Layer (ALD) aghọwo ebe nyocha. Usoro ALD nwere ike ịchịkwa ọkpụrụkpụ na ịdị n'otu nke ihe nkiri ahụ n'ụzọ ziri ezi na nanoscale, si otú ahụ na-emeziwanye àgwà nke ihe nkiri mgbe niile dielectric dị elu. Dị ka ihe atụ, otu nnyocha nke Liu Lei nke Peking University kwadebere a elu dielectric mgbe niile amorphous film site mmiri mmiri usoro na ọma tinye ya na abụọ akụkụ semiconductor electronic ngwaọrụ.
Na mgbakwunye, ka usoro semiconductor na-aga n'ihu na-aga n'ihu na nha dị nta, ntinye nke zirconium tetrachloride na-agbasawanye. Dịka ọmụmaatụ, TSMC na-ezube imezu mmepụta oke nke teknụzụ 2nm na ọkara nke abụọ nke 2025, Samsung na-akwalitekwa nyocha na mmepe nke usoro 2nm ya. Nghọta nke usoro ndị a dị elu enweghị ike ịpụpụ na nkwado nke ihe nkiri dị elu dielectric na-adịgide adịgide, na zirconium tetrachloride, dị ka isi ihe eji eme ihe, bụ ihe dị mkpa nke onwe ya.
Na nchịkọta, isi ọrụ nke zirconium tetrachloride na ụlọ ọrụ semiconductor na-aghọwanye nke ọma. Site na mgbasawanye nke 5G, AI na ịntanetị nke ihe, ọchịchọ maka ibe arụ ọrụ dị elu na-aga n'ihu na-abawanye. Zirconium tetrachloride, dị ka ihe dị mkpa na-ebute ihe nkiri dị elu mgbe niile, ga-arụ ọrụ na-enweghị atụ n'ịkwalite mmepe nke teknụzụ mgbawa na-esote. N'ọdịnihu, na ọganihu na-aga n'ihu nke nkà na ụzụ na njikarịcha nke ntanye zuru ụwa ọnụ, atụmanya ngwa nke zirconium tetrachloride ga-aba ụba.
Oge nzipu: Eprel-14-2025